产品名称：三氟化氮
化学名称：三氟化氮
化学标识：

• 化学式：NF?

• CAS编号：7783-54-2

• 分子量：71.00 g/mol

产品概述：
三氟化氮是一种无机氟化物，常温常压下为无色、无味、不可燃气体。该产品具有较高的化学稳定性，在电子工业中作为高效的等离子体蚀刻和清洗气体使用。

产品规格（示例）

• 纯度：≥ 99.99%

• 四氟化碳：≤ 10 ppm

• 六氟乙烷：≤ 10 ppm

• 水分：≤ 5 ppm

• 氧含量：≤ 5 ppm

• 氮含量：≤ 20 ppm

• 外观：无色气体

理化特性（典型值）

• 沸点：-129.0 °C

• 熔点：-208.5 °C

• 密度（0°C, 气体）：2.96 kg/m3

• 临界温度：-39.3 °C

• 临界压力：4.53 MPa

• 溶解性：

  • 微溶于水

  • 化学性质稳定

主要应用方向

1. 电子工业：

   • 半导体制造中的等离子体蚀刻气体

   • 化学气相沉积（CVD）腔室清洗

   • 液晶显示器制造

2. 激光技术：

   • 高能激光器工作介质

   • 特种激光器激发气体

3. 化工领域：

   • 氟化剂

   • 火箭推进剂组分

4. 其他应用：

   • 高压设备绝缘介质

   • 特种玻璃制造