产品名称：六氟乙烷
化学名称：六氟乙烷
化学标识：

• 化学式：C?F?

• CAS编号：76-16-4

• 分子量：138.01 g/mol

产品概述：
六氟乙烷是一种全氟代烃，常温常压下为无色、无味、不可燃的气体。该产品具有极高的化学稳定性和热稳定性，在电子工业及其他高科技领域有重要应用。

产品规格（示例）

• 纯度：≥ 99.999%

• 氮气：≤ 5 ppm

• 氧气：≤ 2 ppm

• 水分：≤ 1 ppm

• 总碳氢化合物：≤ 1 ppm

• 可冷凝物：≤ 10 ppm

• 外观：无色气体

理化特性（典型值）

• 沸点：-78.2 °C

• 熔点：-100.6 °C

• 密度（0°C, 气体）：5.89 kg/m3

• 临界温度：19.7 °C

• 临界压力：3.00 MPa

• 溶解性：

  • 微溶于水

  • 化学性质极其稳定

主要应用方向

1. 电子工业：

   • 半导体制造中的等离子体蚀刻气体

   • 晶圆清洗工艺

   • 化学气相沉积工艺

2. 电力工业：

   • 高压电气设备绝缘介质

   • 气体绝缘开关设备填充气

3. 医疗领域：

   • 眼科手术用气体

   • 视网膜复位手术

4. 其他应用：

   • 示踪气体

   • 制冷剂

   • 航空航天推进剂

包装与储存

• 包装：

  • 2L、8L、40L铝合金钢瓶

  • 工作压力：10-15 MPa

  • 阀门出口：CGA580

• 储存条件：

  • 储存于阴凉通风处

  • 库温不超过30℃

  • 与其他气体分开存放

安全注意事项

• 操作防护：

  • 使用专用减压器

  • 配备压力监测装置

  • 系统检漏合格后方可使用

• 泄漏处理：

  • 立即切断气源

  • 加强通风

• 特殊性：

  • 防止高压气体突然释放

  • 在密闭空间可能造成缺氧

说明：本产品为高纯特种气体，具体技术指标以供应商提供的质检单为准。使用前请仔细阅读安全技术说明书，操作人员应经过专业培训。