产品名称：三氯化硼
化学名称：三氯化硼
化学标识：

• 化学式：BCl?

• CAS编号：10294-34-5

• 分子量：117.17 g/mol

产品概述：
三氯化硼是一种无机化合物，常温常压下为无色发烟液体，具有强烈的刺激性气味。该产品遇水分解，是半导体工业中重要的掺杂剂和蚀刻气体。

产品规格（示例）

• 纯度：≥ 99.99%

• 水分：≤ 5 ppm

• 游离氯：≤ 10 ppm

• 金属杂质：≤ 1 ppm

• 外观：无色发烟液体

理化特性（典型值）

• 沸点：12.5 °C

• 熔点：-107.3 °C

• 密度 (20°C)：约 1.35 g/cm3

• 蒸气压 (20°C)：约 120 kPa

• 临界温度：178.8 °C

• 临界压力：3.87 MPa

• 溶解性：

  • 与多数有机溶剂反应

  • 遇水剧烈分解

主要应用方向

1. 半导体工业：

   • 硅和锗的P型掺杂源

   • 等离子体蚀刻气体

   • 化学气相沉积前驱体

2. 有机合成：

   • 路易斯酸催化剂

   • 硼氢化反应试剂

   • 制备硼化合物的原料

3. 金属精炼：

   • 铝和镁的精炼

   • 金属硼化物制备

4. 其他应用：

   • 高能燃料添加剂

   • 核反应堆控制材料