产品名称：六氟化钨
化学名称：六氟化钨
化学标识：

• 化学式：WF?

• CAS编号：7783-82-6

• 分子量：297.84 g/mol

产品概述：
六氟化钨是一种无机氟化物，常温常压下为无色气体或淡黄色液体，具有刺激性气味。该产品在潮湿空气中发烟，遇水分解，是半导体工业中重要的化学气相沉积前驱体。

产品规格（示例）

• 纯度：≥ 99.99%

• 水分：≤ 10 ppm

• 金属杂质：≤ 1 ppm

• 氧含量：≤ 5 ppm

• 氮含量：≤ 10 ppm

• 外观：无色气体或淡黄色液体（在压力下）

理化特性（典型值）

• 沸点：17.1 °C

• 熔点：2.3 °C

• 密度 (20°C, 液体)：约 3.44 g/cm3

• 蒸气压 (20°C)：约 110 kPa

• 临界温度：172.0 °C

• 临界压力：4.17 MPa

• 溶解性：

  • 与多数有机溶剂反应

  • 遇水剧烈分解

主要应用方向

1. 半导体工业：

   • 化学气相沉积（CVD）钨薄膜前驱体

   • 金属化工艺阻挡层制备

   • 集成电路互连材料

2. 光伏产业：

   • 太阳能电池电极材料

   • 薄膜太阳能电池制备

3. 核工业：

   • 铀浓缩过程

   • 核燃料处理

4. 科研领域：

   • 新型材料研究

   • 催化剂制备