产品名称：二氯二氢硅
化学名称：二氯硅烷
化学标识：

• 化学式：SiH?Cl?

• CAS编号：4109-96-0

• 分子量：101.01 g/mol

产品概述：
二氯二氢硅是一种硅氢氯化合物，常温常压下为无色气体，具有刺激性气味。该产品在潮湿空气中发烟，遇水分解，是半导体工业中重要的化学气相沉积前驱体。

产品规格（示例）

• 纯度：≥ 99.9% (GC)

• 水分：≤ 5 ppm

• 金属杂质：≤ 1 ppb

• 三氯氢硅：≤ 500 ppm

• 外观：无色气体（在压力下为液体）

理化特性（典型值）

• 沸点：8.2 °C

• 熔点：-122.0 °C

• 密度 (20°C, 液体)：约 1.22 g/cm3

• 蒸气压 (20°C)：约 140 kPa

• 闪点：-60 °C

• 爆炸极限：4.1% - 99% (体积浓度)

• 溶解性：

  • 与多数有机溶剂混溶

  • 遇水剧烈分解

主要应用方向

1. 半导体工业：

   • 化学气相沉积（CVD）硅薄膜前驱体

   • 外延硅生长源

   • 二氧化硅、氮化硅薄膜沉积

2. 光伏产业：

   • 太阳能电池硅薄膜沉积

   • 非晶硅制备

3. 特种玻璃：

   • 光学玻璃涂层

   • 低折射率薄膜制备

4. 科研领域：

   • 新型材料研究

   • 纳米技术应用