产品名称：四氟化碳
化学名称：四氟化碳
化学标识：

• 化学式：CF?

• CAS编号：75-73-0

• 分子量：88.00 g/mol

产品概述：
四氟化碳是一种全氟代烃，常温常压下为无色、无味、不可燃的气体。该产品具有极高的化学稳定性和热稳定性，在电子工业及其他高科技领域有重要应用。

产品规格（示例）

• 纯度：≥ 99.999%

• 氮气：≤ 5 ppm

• 氧气：≤ 2 ppm

• 水分：≤ 1 ppm

• 总碳氢化合物：≤ 1 ppm

• 可冷凝物：≤ 10 ppm

• 外观：无色气体

理化特性（典型值）

• 沸点：-128.0 °C

• 熔点：-183.6 °C

• 密度（0°C, 气体）：3.72 kg/m3

• 临界温度：-45.7 °C

• 临界压力：3.74 MPa

• 溶解性：

  • 微溶于水

  • 化学性质极其稳定

主要应用方向

1. 电子工业：

   • 半导体制造中的等离子体蚀刻气体

   • 晶圆清洗工艺

   • 低温清洗剂

2. 激光技术：

   • 激光器工作介质

   • 特种激光器填充气

3. 制冷领域：

   • 低温温度计的填充介质

   • 特殊低温实验的制冷工质

4. 其他应用：

   • 泄漏检测的示踪气体

   • 航空航天领域的润滑剂