产品名称：1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷
化学名称：1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷
化学标识：

• 化学式：Cl?SiSiCl?

• CAS编号：13465-77-5

• 分子量：268.89 g/mol

产品概述：
1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷是一种含硅氯化合物，常温下为无色透明液体，在潮湿空气中发烟。该产品具有特定的化学性质，在半导体和特种材料领域有专门应用。

产品规格（示例）

• 纯度：≥ 99.9% (GC)

• 水分：≤ 10 ppm

• 金属杂质：≤ 1 ppm

• 外观：无色透明液体

理化特性（典型值）

• 沸点：144.5 °C

• 熔点：-1.0 °C

• 密度 (20°C)：约 1.56 g/cm3

• 折射率 (n2?/D)：约 1.458

• 闪点：约 40 °C

• 溶解性：

  • 与多数有机溶剂混溶

  • 遇水分解

主要应用方向

1. 半导体工业：

   • 化学气相沉积（CVD）前驱体

   • 外延硅薄膜沉积

   • 硅化钨阻挡层制备

2. 特种材料：

   • 硅碳氮化物陶瓷前驱体

   • 功能涂层制备

3. 科研开发：

   • 新型材料研究

   • 纳米技术应用