一、基本标识

• 中文名称：一氯三氢硅烷、氯硅烷、甲硅烷基氯
• 英文名称：Chlorosilane、Monochlorosilane、Silane, chloro-
• 分子式：（）
• 分子量：66.56
• EINECS 号：236-705-7

二、理化性质

• 外观与状态：常温常压下为无色气体，有刺激性气味
• 熔点：?118°C
• 沸点：?30.4°C
• 液体密度：1.145 g/cm3
• 闪点：?90°C（极易燃）
• 化学特性：遇水 / 湿气剧烈水解生成；空气中可自燃；化学性质活泼

三、主要用途

1. 半导体 / 光伏：CVD 前驱体，沉积硅外延层、多晶硅薄膜
2. 有机硅合成：制备硅烷偶联剂、硅油、硅橡胶等的关键中间体
3. 精细化工：还原剂、高纯硅原料、合成取代硅烷